專家信息：
張海霞——微電子學(xué)專家，女，1970年出生。現(xiàn)任北京大學(xué)微電子學(xué)研究院教授、博士生導(dǎo)師，MEMS研究所副所長，微納應(yīng)用技術(shù)國際大賽iCAN發(fā)起人。
教育及工作經(jīng)歷：
1998年畢業(yè)于華中科技大學(xué)獲得博士學(xué)位，之后加入清華大學(xué)做博士后研究。
2001年加盟北京大學(xué)微電子學(xué)研究院。
2004年至2006年在美國加州大學(xué)戴維斯分校與凱斯西儲(chǔ)大學(xué)任訪問教授。
社會(huì)兼職：
1、中國微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)副秘書長。
2、全球華人微納米分子系統(tǒng)學(xué)會(huì)秘書長。
3、全球華人微米納米技術(shù)合作網(wǎng)絡(luò)CINN執(zhí)行主席。
教學(xué)情況：
主講課程：
資料更新中……
培養(yǎng)研究生情況：
資料更新中……
科學(xué)研究：
研究方向：
1、MEMS設(shè)計(jì)技術(shù)與工具開發(fā)；
2、SiC MEMS技術(shù)；
3、生物 MEMS技術(shù)；
4、納米電子機(jī)械系統(tǒng)NEMS。
承擔(dān)的科研項(xiàng)目情況：
主持多項(xiàng)國家973、863等重要科研項(xiàng)目。
1、國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目“DRIE工藝及其復(fù)雜現(xiàn)象的機(jī)理與建模研究”。
2、科技部863項(xiàng)目“適用于植入式系統(tǒng)的無線能量和信號(hào)傳輸系統(tǒng)”和“ICP加工模型模擬與IP庫”。
3、973項(xiàng)目“納機(jī)電結(jié)構(gòu)加工工藝的評(píng)價(jià)與表征方法研究”。
4、預(yù)研項(xiàng)目“特種MEMS薄膜生長技術(shù)及應(yīng)用—碳化硅”。
5、北京市自然科學(xué)基金項(xiàng)目“SiC材料制備工藝技術(shù)，結(jié)構(gòu)特性及在MEMS中應(yīng)用”。
科研成果：
2006年獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)。
發(fā)明專利：
1 一種動(dòng)作仿真控制方法及其系統(tǒng) 安萍; 付陽; 李科佳; 趙瑜; 張海霞; 李志宏; 郝一龍 北京大學(xué) 【中國專利】北京大學(xué) 2008-07-30
2 微型電磁式能量采集器及制備方法 袁泉; 方東明; 張海霞 北京大學(xué) 【中國專利】北京大學(xué) 2009-08-26
3 靜電驅(qū)動(dòng)導(dǎo)體薄膜的MEMS可調(diào)電感及制備方法 方東明; 袁泉; 劉健; 張海霞 北京大學(xué) 【中國專利】北京大學(xué) 2009-11-11
4 靜電致動(dòng)器及其制備方法、抗瞬時(shí)擾動(dòng)方法 陳慶華; 吳文剛; 杜博超; 賈鯤鵬; 張海霞; 夏雨; 郝一龍 北京大學(xué) 【中國專利】北京大學(xué) 2010-05-12
5 基于無掩膜深反應(yīng)離子刻蝕制備黑硅的方法 張海霞; 孫廣毅; 高天樂 北京大學(xué) 【中國專利】北京大學(xué) 2010-06-16
6 靜電振鏡及其制作方法 陳慶華; 吳文剛; 杜博超; 賈鯤鵬; 張海霞; 夏雨; 郝一龍 北京大學(xué) 【中國專利】北京大學(xué) 2010-06-02
7 可變剛度梁及其制備方法、致動(dòng)方法 吳文剛; 張海霞; 陳慶華; 杜博超; 賈鯤鵬; 夏雨; 郝一龍 北京大學(xué) 【中國專利】北京大學(xué) 2010-09-15
8 抗震裝置及其制備方法 陳慶華; 吳文剛; 杜博超; 張海霞; 郝一龍 北京大學(xué) 【中國專利】北京大學(xué) 2010-11-10
9 可變光衰減器件及其制備方法 吳文剛; 陳慶華; 杜博超; 張海霞; 郝一龍 北京大學(xué) 【中國專利】北京大學(xué) 2010-11-10
10 一種單片集成SiC MEMS壓力傳感器及其制備方法 唐偉; 陳哲; 鄭百祥; 劉雷; 張海霞北京大學(xué) 北京大學(xué) 2011-05-18
11 雙面微納復(fù)合結(jié)構(gòu)的太陽能電池及其制備方法 張曉升; 邸千力; 朱福運(yùn); 張海霞 北京大學(xué) 北京大學(xué) 2011-06-29
12 微納復(fù)合結(jié)構(gòu)的太陽能電池及其制備方法 張曉升; 邸千力; 朱福運(yùn); 張海霞 北京大學(xué) 北京大學(xué) 2011-07-06
論文專著：
在 JMM、Sensors & Actuators: A. Physical、MEMS03等國內(nèi)外學(xué)術(shù)期刊和著名國際會(huì)議上發(fā)表學(xué)術(shù)論文50余篇，參與編寫教材一本。
出版專著：
1、《微納傳感器及其應(yīng)用》 北京大學(xué)出版社 2010
發(fā)表論文：
1 SiC薄膜制備MEMS結(jié)構(gòu) 王煜; 郭輝; 張海霞; 田大宇; 張國炳; 李志宏 北京大學(xué)微電子研究院微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京大學(xué)微電子研究院微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【會(huì)議】中國微米、納米技術(shù)第七屆學(xué)術(shù)會(huì)年會(huì)論文集（二） 2005-08-01
2 PECVD SiC薄膜的應(yīng)力控制及抗腐蝕特性研究 郭輝; 王煜; 張海霞; 田大宇; 張國炳; 李志宏 北京大學(xué); 北京大學(xué) 【會(huì)議】中國微米、納米技術(shù)第七屆學(xué)術(shù)會(huì)年會(huì)論文集（一） 2005-08-01
3 不同犧牲層材料上LPCVD氮化硅薄膜內(nèi)應(yīng)力的測(cè)試與研究 王莎莎; 陳兢; 張海霞 北京大學(xué)微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京大學(xué)微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【會(huì)議】中國微米、納米技術(shù)第七屆學(xué)術(shù)會(huì)年會(huì)論文集（一） 2005-08-01
4 開啟微納傳感領(lǐng)域的新天地——Transducers 2011國際會(huì)議綜述 孫旭明; 朱福運(yùn); 唐偉; 張曉升; 袁泉; 張海霞 北京大學(xué)微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】信息與電子工程 2011-08-25
5 茶多酚對(duì)胰島素分泌和胰島內(nèi)鈣離子濃度的影響 王進(jìn); 沈劍敏; 黃華宇; 張海霞 蘭州大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院; 北京大學(xué)天然藥物及仿生藥物國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】蘭州大學(xué)學(xué)報(bào)(醫(yī)學(xué)版) 2010-12-20
6 硅DRIE刻蝕工藝模擬研究 朱福運(yùn); 于民; 金玉豐; 張海霞 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院微米/納米國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】中國電子科學(xué)研究院學(xué)報(bào) 2011-02-20
7 微納米分子系統(tǒng)研究領(lǐng)域的最新進(jìn)展——IEEE NEMS 2011國際會(huì)議綜述 孫旭明; 張海霞 北京大學(xué)微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】信息與電子工程 2011-04-25
8 物聯(lián)網(wǎng)中的高科技創(chuàng)新 張海霞 北京大學(xué)微電子研究院 【期刊】物聯(lián)網(wǎng)技術(shù) 2011-04-20
9 可調(diào)諧微機(jī)電電感(英文) 方東明; 張海霞 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院微米納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】微納電子技術(shù) 2010-03-15
10 基于彎曲測(cè)試的納米結(jié)構(gòu)機(jī)械力學(xué)特性的表征 徐臨燕; 栗大超; 胡小唐; 張海霞; 黃玉波 天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京大學(xué)微米納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 天津; 北京大學(xué)微米納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 【期刊】傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 2006-05-30
11 金屬和SiC復(fù)合薄膜的應(yīng)力及應(yīng)力梯度控制技術(shù) 紀(jì)明; 陳哲; 田大宇; 王瑋; 張國炳; 張海霞 北京大學(xué)微電子學(xué)研究所微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京大學(xué)微電子學(xué)研究所微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京大學(xué)微電子學(xué)研究所微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 北京 【期刊】納米技術(shù)與精密工程 2008-01-15
12 適用于RF MEMS能量耦合傳輸?shù)母逹值電感 陳石清; 李旦; 李修函; 張海霞 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院微米/納米加工技術(shù)國家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院微米/納米加工技術(shù)國家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院微米/納米加工技術(shù)國家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 北京; 北京交通大學(xué)電子信息工程學(xué)院 【期刊】傳感技術(shù)學(xué)報(bào) 2008-04-15
13 微加工干法刻蝕工藝模擬工具的研究現(xiàn)狀 周榮春; 張海霞; 郝一龍 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院; 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院; 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院 MEMS研究所; MEMS研究所 【期刊】微納電子技術(shù) 2003-08-25
14 弓型懸臂梁微靜電諧振器力學(xué)建模 趙江銘; 沈雪瑾; 張海霞; 陳曉陽 上海大學(xué)機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院; 北京大學(xué)微電子所; 上海大學(xué)機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院 上海 【期刊】微納電子技術(shù) 2003-08-25
15 MEMS CAD系統(tǒng)IMEE的研究和開發(fā) 張海霞; 郭輝; 肖志勇; 周榮春; 郝一龍 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院; 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院; 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院 北京 【期刊】微納電子技術(shù) 2003-08-25
16 用于MEMS器件芯片級(jí)封裝的金-硅鍵合技術(shù)研究 劉雪松; 閆桂珍; 郝一龍; 張海霞 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院; 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院; 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院 北京 【期刊】微納電子技術(shù) 2003-08-25
17 納米壓痕和劃痕法測(cè)定氧化硅薄膜材料的力學(xué)特性 張海霞; 張?zhí)┤A; 郇勇 北京大學(xué)微電子研究院; 中國科學(xué)院力學(xué)研究所非線性力學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 中國科學(xué)院力學(xué)研究所非線性力學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 北京 【期刊】微納電子技術(shù) 2003-08-25
18 SiC薄膜制備MEMS結(jié)構(gòu) 王煜; 郭輝; 張海霞; 田大宇; 張國炳; 李志宏 北京大學(xué)微電子研究院微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京大學(xué)微電子研究院微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京大學(xué)微電子研究院微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 北京 【期刊】中國機(jī)械工程 2005-07-30
19 以工藝為主線的MEMS設(shè)計(jì)工具IMEE 郝一龍 ; 張海霞 ; 郭輝 ; 肖志勇 ; 周榮春 北京大學(xué)微電子研究院; 北京大學(xué)微電子研究院 【期刊】今日電子 2003-06-10
20 加速度系統(tǒng)的結(jié)點(diǎn)化模型仿真 肖志勇; 楊振川; 張海霞; 郝一龍 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院; 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院; 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院 北京 【期刊】北京大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版) 2004-05-20
21 集成化MEMS工藝設(shè)計(jì)技術(shù)的研究 張海霞; 郭輝; 張大成; 徐嘉佳; 郝一龍 北京大學(xué)微電子研究院; 北京大學(xué)微電子研究院; 北京大學(xué)微電子研究院 北京 【期刊】納米技術(shù)與精密工程 2004-09-30
榮譽(yù)獎(jiǎng)勵(lì)：
1、2004年北京大學(xué)優(yōu)秀班主任三等獎(jiǎng)。
2、2007年北京大學(xué)優(yōu)秀青年教師教學(xué)獎(jiǎng)。
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